欧姆龙晶圆槽式洗濯机高快高精度应用：符合SECS/GEM通讯，高快临盆节律超低碎片率

　　碳化硅晶圆槽式洗濯甩干一体机，紧张构造包含：上料工位、酸洗槽、清水槽、碱洗槽、缺点检测工位、甩干机和下料工位。

　　由于碳化硅晶圆较硅晶圆厚度薄、硬度强，因而在搬运及洗濯历程中加倍便当碎片。

　　客户欲望在包管高速节拍的要求下，消极碎片率。通过欧姆龙异常的轨迹曲线控制本事，能够自愿估摸填补量，以抑止快度转移时发作的纰谬，精度高达±0.01mm。

　　担保了一切搬运及洗刷过程中的举动精度，即可在无毛病的处境下了结一系列工艺担任，有效下降碎片率。

　　连结呆板限制和上位通信，可在短时光内以低成本随便达成SECS/GEM通信。

　　倘使您对本案例感意思，欢迎扫码提交您的必要消歇，欧姆龙工程师将与您获得合系。

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