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欧姆龙晶体定向仪高精度衡量办理安放:符关SECSGEM通讯告终“零”误差的正确切割
欧姆龙晶体定向仪高精度衡量解决宗旨:符合SECS/GEM通讯,完成“零”差错的准确切割
由于硅晶棒分娩工艺界限,其内部原子面和硅棒横截面之间会糊口一个角度差,倘使我们在切瞬息,以硅棒横截面为基准举办切割,切割出来的硅片,联合层原子之间生存高度差,酿成硅片导电性变差。所以,在事先领悟原子面和硅棒横截面之间的角度后,以固定的角度举办切割,则切割出来的硅片,联合层原子之间可湮灭高度差。晶体定向仪的效力就是丈量硅棒内部原子面和硅棒横截面的角度,从而完工硅棒的无误切割。
使用FFT实行采样阐扬数据学习,对伺服的增益按频域的阵势进行分解,在不引起伺服震颤的要求下,尽大概抬高伺服快比例度增益值来包管伺服的反响性和控制精度。
团圆呆滞控制和上位通信,可在短时辰内以低资本随便完工SECS/GEM通信。
经历伺服高级调谐身手,大幅度颓丧角度测量的误差,从而完工硅棒的精准切割。另外,所摆设的操纵体制均舒服行业圭表(SECS/GEM通讯),在同行业的竞赛中具有彰着优势。
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