根源：【华声在线日讯（全媒体记者 王铭俊 通讯员 张星）记者此日从湖南省科技厅获悉，2021年度湖南省十大时间攻闭项目中的“第三代半导体重点建设国产化主要手艺攻合”“8英寸集成电讲成套设备”2个项目，均在7月25日顺利颠末综合验收。

　　“第三代半导体重心设备国产化重要技艺攻关”项目由中原电子科技全体公司第四十八研讨所负责。项目冲破了6英寸SiC（碳化硅）外延助长、高温高能离子注入机工艺机能、产能、安定性、确实性扶直等首要技艺，完工了6英寸SiC外延成长开发、SiC高温高能离子注入机国产化与工程化，创办知足领域化量产工艺要求，并完全资产化运用才力。据悉，研制创造已凯旋在国内第三代半导体头部用户上线英寸集成电路成套装备”项目由华夏电子科技大众公司第四十八琢磨所和湖南楚微半导体科技有限公司协同责任。项目源委国产设备、工艺和产品联合更始，冲破了立式炉管、硅外延创造等紧要时间攻合，落成了工艺验证，并完毕了物业化临蓐。项目已实现43台（套）国产中心工艺配置上线验证，整线%，目前出产线万片/月坐蓐技能，芯片良品率达98%。